实验目的：

1、了解最基本的真空系统的结构，掌握真空系统的操作方法； 

2、了解真空技术的基本知识，学习真空系统的基本方程； 

3、掌握高真空的获得、测量的基本原理及方法； 

4、机械泵抽速测定； 

5、扩散泵抽速测定； 

6、系统漏率的测定。

设备组成：

1、实验仪主要由真空储气瓶、玻璃油扩散泵、真空测量仪表、高真空阀门、流导调节管、电控系统等组成。

2 、设备的真空室、 由扩散泵、真空管路部件均可视化设计； 

3、电气控制有安全防护，防止误操作对人员和设备造成损伤； 

4、采用不锈钢、真空波纹管结合管路，阀门为 316L 不锈钢高压双卡套球阀；

技术参数：

1、真空储气瓶： 304 不锈钢，

尺寸：约 φ200 x 480mm （以实际设计为准）；容积约 15L 

2、真空测量：数显复合真空计；电阻规＋电离规测压范围： 1xE5~1xE-5 Pa  数量： 2套

3、真空系统： DRV10 双极旋片泵＋四级玻璃扩散泵， 扩散泵需水冷； 

4、极限真空： 5xE-3 Pa; 

5、3 组流导调节管路，组成三种不同的抽气流导， 

6、工作电源： AC220V ± 5%50Hz; 

7 、整机功率： 2kW 

8、用户需自备或另购工业水冷机组 

9、机架：铝合金型材机架。