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手套箱蒸镀 / 溅射一体机

真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空蒸发系统工作室置于 Glove box 无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD 与 Glove box(手套箱)硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于 OPV(有机光伏电池)、OLED(有机发光二极管)、PLED(高分子发光二极管)等研究领域。

主要用途和适用范围

本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED 和 PLED、半导体制备等实验研究与应用。

手套箱蒸镀 / 溅射一体机设备技术参数

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