DHPS 系列 直流溅射等离子体实验装置
本系列实验装置是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪，专门设计为在基底上镀上金属膜，如金，铂，铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为 40mm，膜厚可达 300 埃，特别适用于为 SEM 样品镀上金而作为导电极。
主要技术参数
上一个：直流辉光等离子体实验装置
本系列实验装置是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪，专门设计为在基底上镀上金属膜，如金，铂，铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为 40mm，膜厚可达 300 埃，特别适用于为 SEM 样品镀上金而作为导电极。
主要技术参数
